Wafer-Handler

Artikel, letzte Änderung: , Autor : isel Germany AG

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Wafer-Handler mit Dual Arm besitzen das Potzenzial, den Durchsatz einer Anwendung zu steigern.

Wafer-Handler der Serie 3 mit Dual Arm besitzen das Potzenzial, den Durchsatz einer Anwendung zu steigern. Durch die beiden unabhängigen Arme, können Wafer sehr schnell ausgetauscht und somit Leerfahrten vermieden werden.

Merkmale • Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit • Handhabung von Wafern bis zu mm • Höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit • Einfache Anbindung eines Linear Track an die Robotersteuerung • Echtzeit-Bewegungssteuerung • Sehr laufruhig • Bürstenlose, wartungsfreie Servomotoren mit geringem Trägheitsmoment • Spielfreie Harmonic Drive®-Getriebe • Absolut- Encoder • Vielfältige Kommunikations-Schnittstellen • Option: 2 Flip-Module iFM • Klasse reinraumkompatibel • Inklusive Advanced Hard-& Software • Made in Germany

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