Wafer-Handler für das Transportieren von Wafern, Masken und Substraten in der Halbleiterindustrie.
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Wafer-Handler wie zum Beispiel die der Serien SHD-Dual-Arm und Serien SHD Grundkörper werden dort eingesetzt, wo eine höhere bauliche Steifigkeit gefordert ist. Höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit durch integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige.
Wafer-Handler der Serie 1
Roboter der Serie 1 sind für das Waferhandling konzipiert. Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7“ bis 21“ Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5“ bis 28“ kombinierbar. Abhängig von der Kombination der Achsen sind so Handhabungsgewichte bis 3 kg möglich.
Wafer-Handler der Serie 3 mit Single Arm
Roboter der Serie 3 mit Single Arm werden dort eingesetzt, wo eine höhere bauliche Steifigkeit gefordert ist. Damit können Lasten von bis zu 5 kg auch in Kombination mit langen Armbaugruppen und großem Z-Hub bis 21“ realisiert werden.
Wafer-Handler der Serie 3 mit Dual Arm
Roboter der Serie 3 mit Dual Arm besitzen das Potenzial, den Durchsatz einer Anwendung zu steigern. Durch die beiden unabhängigen Arme, können Wafer sehr schnell ausgetauscht und somit Leerfahrten vermieden werden.
Seit über 15 Jahren werden diese Wafer-Handler in den unterschiedlichsten Wafer-Bearbeitungszellen, Sortern und Inspektionsanlagen weltweit sehr erfolgreich eingesetzt.
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