Wafer-Handler für das Transportieren von Wafern, Masken und Substraten in der Halbleiterindustrie.

Artikel, letzte Änderung: , Autor : michael-becker

Teilen via E-Mail Twitter Facebook LinkedIn

Wafer-Handler mit Dual Arm besitzen das Potzenzial, den Durchsatz einer Anwendung zu steigern.

Wafer-Handler  für das Transportieren von Wafern, Masken und Substraten in der Halbleiterindustrie.

Wafer-Handler der Serie 1

Roboter der Serie 1 sind für das Waferhandling konzipiert. Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7“ bis 21“ Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5“ bis 28“ kombinierbar. Abhängig von der Kombination der Achsen sind so Handhabungsgewichte bis 3 kg möglich.


Wafer-Handler der Serie 3 mit Single Arm

Roboter der Serie 3 mit Single Arm werden dort eingesetzt, wo eine höhere bauliche Steifigkeit gefordert ist. Damit können Lasten von bis zu 5 kg auch in Kombination mit langen Armbaugruppen und großem Z-Hub bis 21“ realisiert werden.


Wafer-Handler der Serie 3 mit Dual Arm

Roboter der Serie 3 mit Dual Arm besitzen das Potenzial, den Durchsatz einer Anwendung zu steigern. Durch die beiden unabhängigen Arme, können Wafer sehr schnell ausgetauscht und somit Leerfahrten vermieden werden.


Made in Germany