Wafer Handler

Wafer-Handler in der Waferherstellung

Ein Wafer-Handler ist ein unverzichtbares Gerät in der Waferherstellung, das für die Handhabung und den Transport von Wafern in verschiedenen Produktionsschritten verantwortlich ist. Diese Geräte sind besonders wichtig in der Fertigung von Leistungshalbleitern, wo millimeterarbeit erforderlich ist, um die hohen Standards der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Der Wafer-Handler sorgt dafür, dass die Wafer sicher und präzise zwischen den verschiedenen Stationen, wie Inspektionsanlagen und Vakuumbeschichtungsanlagen, bewegt werden.

Technische Parameter und Kriterien beim Kauf eines Wafer-Handlers

Beim Kauf eines Wafer-Handlers sollten verschiedene technische Parameter und Kriterien berücksichtigt werden:

1. Beladekapazität: Die maximale Anzahl an Wafern, die der Handler gleichzeitig transportieren kann, ist entscheidend für die Effizienz der Produktion.

2. Armeinheit: Die Armeinheit des Wafer-Handers muss robust und präzise sein, um die Wafer ohne Beschädigung zu handhaben.

3. Vakuumsystem: Ein effektives Vakuumsystem ist notwendig, um die Wafer sicher zu greifen und zu transportieren.

4. Steuerungssystem: Ein modernes Steuerungssystem ermöglicht eine einfache Programmierung und Anpassung an verschiedene Produktionsanforderungen.

5. Kompatibilität: Der Wafer-Handler sollte mit bestehenden Maschinen und Anlagen, wie Pilotanlagen und Batteriesystemen, kompatibel sein, um eine nahtlose Integration in die Produktionslinie zu gewährleisten.

6. Zuverlässigkeit und Wartungsfreundlichkeit: Die Langlebigkeit und einfache Wartung des Geräts sind entscheidend, um Ausfallzeiten zu minimieren.

7. Sicherheitsstandards: Der Wafer-Handler muss den geltenden Sicherheitsstandards entsprechen, um einen sicheren Betrieb im Operationssaal zu gewährleisten.

Anwendungsbereiche des Wafer-Handers

Wafer-Handler finden Anwendung in verschiedenen Bereichen der Halbleiterfertigung. Sie spielen eine wichtige Rolle in der Schichtentfernung und der Verschaltung von Wafern. In der Produktion von Leistungshalbleitern sind sie besonders wichtig, da hier höchste Präzision gefordert ist. Der Einsatz von Wafer-Handern in der Vakuumbeschichtung ermöglicht eine gleichmäßige Beschichtung der Wafer, was für die Qualität der Endprodukte entscheidend ist.

Hersteller von Wafer-Handler

Die wichtigsten Hersteller von Wafer-Handler sind: KLA-Tencor, Tokyo Electron, ASM International, Applied Materials, Brooks Automation, SUSS MicroTec, ESEC, Cohu, Teradyne, Advantest.

Angebots-Nr: 12217